问答题
什么是恒定表面源扩散？其扩散形成的结深主要受哪些因素的影响？其中哪一个影响最主要？为什么？
如果在整个扩散过程中，硅片表面的杂质浓度始终不变，这种类型的扩散称为恒定表面源扩散。结深只与扩散时间t和扩散系数D有关，......
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问答题 解释扩散系数及其物理含义，并说明影响扩散系数的主要因素是什么，及如何影响？
问答题 说明杂质在晶圆中的扩散机制及主要特点，并各举一例。
问答题 什么是扩散？并说明扩散的两个基本条件？按材料的形态划分，扩散有那几种基本形式？工艺中的高温扩散属于哪一种？
