判断题
快速热退火大大降低杂质的再分布,对制备浅结器件特别有利。
正确
判断题 平均投影射程是指射程在入射方向上的投影的平均值,往往此处杂质浓度最大。
判断题 扩散和离子注入都可以掺杂,但两者各有利弊,所以都在使用。
判断题 离子注入掺杂可以单独控制杂质浓度和结深,而扩散掺杂却不行。