填空题
根据向衬底输送原子的方式可以把外延分为：（）、（）、（）。
气相外延；液相外延；固相外延
填空题 CVD过程中化学反应所需的激活能来源有（）、（）、（）等。
填空题 常用的溅射镀膜气体是（），射频溅射镀膜的射频频率是（）。
填空题 溅射镀膜方法有（）、（）、（）、（）等。
