问答题
是说明什么是迪尔—格罗夫模型？试给出迪尔—格罗夫模型两种极限情况的示意图。并说明其物理意义。
Deal-Grove氧化模型（线性－抛物线模型 linear-parabolic model），是可......
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问答题 氧化硅的热动力学生长过程中包括哪几个主要过程？并说明每一种过程中的什么因素对氧化生长速率有影响？其中决定因素是什么？
问答题 热生长厚度是2000A的氧化层后，Si-SiO2的界面与原来的硅表面的高度差为多少？为什么？
问答题 什么是掺氯氧化？试说明氧化工艺中掺氯的主要优点。
