问答题 什么是掺氯氧化？试说明氧化工艺中掺氯的主要优点。

问答题 为什么水汽氧化生成的氧化层质量不如干氧氧化层？工艺中采用什么办法来改善其氧化层质量？

问答题 试说明热氧化法的两种基本方法及每种方法的生长机理（或过程），并比较两种方法的主要异同点。