问答题
氧化硅的热动力学生长过程中包括哪几个主要过程？并说明每一种过程中的什么因素对氧化生长速率有影响？其中决定因素是什么？
热氧化过程中，氧化层的增厚包括三个过程：氧化剂从气体内部以扩散形式输运到气体—氧化层界面：氧化剂穿过滞流层到......
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问答题 热生长厚度是2000A的氧化层后，Si-SiO2的界面与原来的硅表面的高度差为多少？为什么？
问答题 什么是掺氯氧化？试说明氧化工艺中掺氯的主要优点。
问答题 为什么水汽氧化生成的氧化层质量不如干氧氧化层？工艺中采用什么办法来改善其氧化层质量？
