单项选择题
下列哪一项不属于Dry Etch设备的主要Unit（）
A.Process Chamber（反应腔） B.Loadlock Module（加载腔） C.Heating Chamber（加热腔） D.Transfer Module（中转腔）
单项选择题 在Dry Etch工程中，Active Etch工艺不会被刻蚀到的Film是（）
单项选择题 CVD中干泵进行Purge和Sealing的气体是（）
单项选择题 CVD设备中可以检测到Glass是否Broken的装置是（）
