多项选择题
Stepper的优点有（）。
A.光刻版的精度和良率高B.可分步重复曝光C.减小了尘埃的影响D.套刻精度高
多项选择题 对非光学曝光表述正确的是（）。
多项选择题 对移相掩膜（PSM）表述正确的是（）。
多项选择题 对正性光刻胶特性表述正确的是（）。
