填空题 立式炉的工艺腔或炉管是对硅片加热的场所，它由垂直的（）、（）和（）组成。

填空题 硅片上的氧化物主要通过（）和（）的方法产生，由于硅片表面非常平整，使得产生的氧化物主要为层状结构，所以又称为（）。

填空题 列出热氧化物在硅片制造的4种用途（）、（）、场氧化层和（）。