判断题
PVD是指化学气相沉积。
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判断题 Cryo pump(冷冻泵浦)必须定期通入N2做再生之用。
判断题 机台保养时发现膜层太厚,直接以尖锐物刮除即可。
判断题 真空冷却系统需以纯水作爲循环媒介。