单项选择题
更换靶材或维修时﹐须在机台停止溅射后()实施。
A.5分钟 B.10分钟 C.60分钟
多项选择题 ()属于常见的真空计。
单项选择题 一般溅镀使用真空度约在()Torr较佳。
单项选择题 靶材中杂质和表面氧化物对薄膜()。