填空题
离子对物体表面轰击时可能发生的物理过程有（）、（）、（）、（）。
反射；产生二次电子；溅射；注入
填空题 自持放电的形式有（）、（）、（）、（）。
填空题 真空蒸发设备由三大部分组成，分别是（）、（）、（）及（）系统。
填空题 真空蒸发的蒸发源有（）、（）、（）、（）等。
