填空题
真空蒸发设备由三大部分组成，分别是（）、（）、（）及（）系统。
真空系统；蒸发系统；基板；加热
填空题 真空蒸发的蒸发源有（）、（）、（）、（）等。
填空题 离子注入系统结构一般包括（）等部分。
填空题 离子注入在衬底中产生的损伤主要有（）等三种。
