多项选择题
TiN膜的三个用途包括（）。
A.用作阻挡层，防止Al/Si互溶导致漏电B.用作ARC、降低Al的反射率利于曝光C.钨塞制程中作为钨的粘附层D.提升刻蚀的速率和均匀性
多项选择题 在线使用的靶材主要有（）。
多项选择题 需要监控的参数包括（）。
多项选择题 PVD有哪些种类？（）
