判断题 磁分析器之所以能挑选离子，是利用了不同荷质比的离子在磁场中受劳伦兹力大小不同，偏转角度不同的原理。

判断题 热扩散掺杂工艺可以一步实现。

判断题 把硅片对离子注入的方向倾斜30度可抑制通道效应。