问答题
工艺最后生长在顶层的介质层称为什么？有什么材料构成？其主要作用是什么？
氮化硅，称为钝化层，其目的是保护产品免受潮气，划伤及淀积的影响。
问答题 金属层间介质的作用是什么？通常用什么材料作层间介质层？
问答题 接触孔和通孔的作用是什么？它们是如何形成的？什么是钨塞。试说明其主要作用。
问答题 请说明在形成晶体管的有源区掺杂过程中需要进行哪些保护？分别用什么材料作为保护层？
