问答题
试述 “鸟嘴”效应是如何产生的?它对MOS器件有什么影响?
通常,IC器件之间通过氧化去来隔离的,在局部氧化隔离工艺中,由于氧化过程中的渗透作用,造成了氧化区具有“鸟嘴形”。这种形......
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问答题 列举两种集成电路制造中的器件隔离结构,并比较其优缺点。
问答题 IC制造中常采用什么方法形成金属层?它的作用是什么?
问答题 掺杂的目的是什么?举出两种掺杂方法并比较其优缺点。