问答题
简答题
离子注入法有哪些优点?
【参考答案】
掺杂的过程可通过调整杂质剂量及能量来精确控制杂质分布,可进行小剂量和极小深度的掺杂较低的工艺温度,故光刻胶可用作掩膜可供......
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