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多项选择题

键合工艺失效,焊盘产生弹坑的原因有()。

    A.键合头运动到焊盘的速度太大,易造成GaAs器件出坑
    B.球太小导致坚硬的键合头接触了焊盘
    C.过高的超声能导致Si晶格点阵的破坏积累
    D.在Al的超声键合中,丝线太硬容易导致弹坑的产生

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