问答题
简答题
简单叙述一下pn结隔离的NPN晶体管的光刻步骤。
【参考答案】
第一次光刻:N+隐埋层扩散孔光刻
第二次光刻:p+隔离扩散空光刻
第三次光刻:P型基区扩散孔光刻......
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