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全部科目 > 大学试题 > 工学 > 电子与通信技术 > 半导体集成电路

问答题

简答题

哪些基本工艺方法要用到掩膜板?并说明在这些工艺中掩膜板的主要作用。

    【参考答案】

    光刻。
    掩膜版的主要作用是确定了设计图形的尺寸(即器件的尺寸和结构)和位置,以便转移到材料上。

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