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多项选择题
二氧化硅的作用有（）
A.作为器件的保护层和钝化层
B.掺杂掩蔽膜
C.隔离
D.元器件的组成部分 -
多项选择题
热氧化获得的二氧化硅的特点是（）
A.晶体
B.非晶体
C.难溶于水
D.能用HF腐蚀 -
多项选择题
低压外延反应器的缺点是（）
A.可以减小自掺杂反应
B.对设备要求提高，必须防止泄漏
C.工艺温度降低外延层晶格受影响
D.缩小了过渡区可用于多层外延
