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多项选择题

下面工艺参数变化会使得NMOS硅栅晶体管的阈值电压升高的有()。

    A.多晶硅和衬底半导体材料之间的功函数差的绝对值增大
    B.栅极氧化层厚度变薄(单位面积的栅氧化层电容增大)
    C.氧化层中的表面电荷(正电荷)减少
    D.在沟道区人工注入p型杂质离子使得单位面积的电荷密度升高

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