填空题
缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（）、（）、高密度等离子体化学气相淀积和（）。
【参考答案】
等离子体增强化学气相淀积；低压化学气相淀积；常压化学气相淀积
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填空题
等离子体增强化学气相淀积；低压化学气相淀积；常压化学气相淀积
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