填空题
在外延工艺中，如果膜和衬底材料（），例如硅衬底上长硅膜，这样的膜生长称为（）；反之，膜和衬底材料不一致的情况，例如硅衬底上长氧化铝，则称为（）。
【参考答案】
相同；同质外延；异质外延
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填空题
相同；同质外延；异质外延
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