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问答题

简答题

什么是恒定表面源扩散?其扩散形成的结深主要受哪些因素的影响?其中哪一个影响最主要?为什么?

    【参考答案】

    如果在整个扩散过程中,硅片表面的杂质浓度始终不变,这种类型的扩散称为恒定表面源扩散。结深只与扩散时间t和扩散系数D有关,......

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