问答题
简答题
什么是表面反应控制？什么是扩散控制？并说明什么情况下生长过程分别为这两种控制，以及这两种控制在生长速率上呈何种反应？
【参考答案】
表面反应控制阶段：SiO2生长的初始阶段，SiO2的生长速率即氧化层生长的快......
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