问答题
简答题
试说明扩散工艺中常用的扩散掺杂方法，并说明当前实际工艺中使用的主要方法及理由。
【参考答案】
固态源扩散、液态源扩散和气态源扩散。
硼和磷在室温，低蒸汽压下是固态的，很难熔化或蒸发，且用固态杂质源也很难控......
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