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多项选择题
CVD的特点是（）
A.薄膜成分可控
B.速度优于PVD
C.黏附性好
D.纯度高 -
单项选择题
选择外延的简称是（）
A.CBE
B.SEG
C.UHV
D.SPE -
单项选择题
SOI的意思是（）
A.汽相外延
B.液相外延
C.分子束外延
D.绝缘层上（外延）硅
