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单项选择题
表面平垣化的方式有很多种，效果最好的方式是（）
A.Ar回蚀法
B.PSG或BPSG的热回流
C.SOG回蚀法
D.化学机械抛光 -
单项选择题
在大马士革铜工艺中，铜薄膜通常采用（）方式获得。
A.物理气相沉积
B.化学气相沉积
C.电化学镀
D.热氧化 -
单项选择题
在0.13um集成电路技术中，铜取代铝成为最主要的互连金属的主要原因是（）
A.铜具有更高的导电率
B.铜具有更低的导电率
C.铜更容易刻蚀加工
D.铜具有更好热导率
