问答题
简答题
请说明在形成晶体管的有源区掺杂过程中需要进行哪些保护？分别用什么材料作为保护层？
【参考答案】
第一次：有源区的轻掺杂漏注入（LDD）时，用光刻胶保护不需注入的其他区域；
第二次：在对有源区进行更大剂量的注......
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