问答题
简答题
什么是光敏度，移相掩膜，驻波效应？
【参考答案】
光敏度：指单位面积上入射的使光刻胶全部发生反应的最小光能量或最小荷量。
移相掩膜：基本原理是在光掩模的某些透明......
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