多项选择题
倒角的目的是（）
A.防止晶圆受到撞击而导致边缘破裂B.防止热应力产生的缺陷在边缘产生并阻止其向内部移动C.增加晶圆边缘的平坦度D.去除晶圆表面微量的损伤层
多项选择题 单晶硅生长过程中，无位错正常生长的标志有（）
多项选择题 直径大于8英寸的单晶硅锭可以用（）方法制备出来。
多项选择题 工业上用二氧化硅和碳在高温下以一定的比例混合发生置换反应得到的单质硅纯度约为98%，主要含有（）等杂质。
