多项选择题
工业上用二氧化硅和碳在高温下以一定的比例混合发生置换反应得到的单质硅纯度约为98%，主要含有（）等杂质。
A.FeB.AlC.BD.Cu
多项选择题 提高离子注入剂量的方法有（）
多项选择题 杂质离子注入衬底后阻挡机制有（）
多项选择题 扩散掺杂的优点有（）
