多项选择题
杂质离子注入衬底后阻挡机制有（）
A.分子阻挡B.离子阻挡C.原子核阻挡D.电子阻挡
多项选择题 扩散掺杂的优点有（）
多项选择题 抑制通道效应的方法有（）
多项选择题 离子注入过程中，常用的退火方法有（）
