多项选择题
提高离子注入剂量的方法有（）
A.提高电场强度B.提高磁场强度C.延长时间D.提高速流
多项选择题 杂质离子注入衬底后阻挡机制有（）
多项选择题 扩散掺杂的优点有（）
多项选择题 抑制通道效应的方法有（）
