多项选择题
直径大于8英寸的单晶硅锭可以用（）方法制备出来。
A.FZ法B.CZ法C.直拉法D.悬浮区熔法
多项选择题 工业上用二氧化硅和碳在高温下以一定的比例混合发生置换反应得到的单质硅纯度约为98%，主要含有（）等杂质。
多项选择题 提高离子注入剂量的方法有（）
多项选择题 杂质离子注入衬底后阻挡机制有（）
