问答题
简述掺氯氧化工艺。
在氧化工艺中，通常在氧化系统中通入少量的HCl气体（浓度在3%以下）以改善SiO2–S......
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问答题 在实际的SiO2–Si系统中，存在几种电荷？
问答题 简述硅热氧化过程中有哪些阶段？
问答题 简述什么是硅热氧化以及氧化的工艺目的、氧化方式及其化学反应式。
