问答题
简述硅热氧化过程中有哪些阶段？
第一阶段：反应速度决定氧化速度，主要因为氧分子、水分子充足，硅原子不足。第二阶段：扩散速度决定氧化速度，主要......
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问答题 简述什么是硅热氧化以及氧化的工艺目的、氧化方式及其化学反应式。
填空题 不同（）的硅片，它的化学、电学、和机械性质都（），这会影响最终的（）。例如（），界面态等。
问答题 简述区熔法（FZ法）的特点与优缺点。
