问答题
简述什么是硅热氧化以及氧化的工艺目的、氧化方式及其化学反应式。
硅热氧化是氧分子或水分子在高温下与硅发生化学反应，并在硅片表面生长氧化硅的过程。氧化的工艺目的：在硅片上生长......
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填空题 不同（）的硅片，它的化学、电学、和机械性质都（），这会影响最终的（）。例如（），界面态等。
问答题 简述区熔法（FZ法）的特点与优缺点。
问答题 简述集成电路制造步骤。
