问答题
简述区熔法(FZ法)的特点与优缺点。
区熔法(FZ法)的特点使用掺杂好的多晶硅棒; 优点是纯度高、含氧量低; 缺点是硅片直径比直拉的小。
问答题 简述集成电路制造步骤。
判断题 PN结隔离所依据的基本原理是利用PN结正向偏置时的高阻性。
判断题 集成电路制造工艺中隔离扩散的深度可以不超过外延层的厚度。