问答题
在实际的SiO2–Si系统中，存在几种电荷？
①可动电荷： 指Na+、K+离子，来源于工艺中的化学试剂、器皿和各......
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问答题 简述硅热氧化过程中有哪些阶段？
问答题 简述什么是硅热氧化以及氧化的工艺目的、氧化方式及其化学反应式。
填空题 不同（）的硅片，它的化学、电学、和机械性质都（），这会影响最终的（）。例如（），界面态等。
