多项选择题
下列方法属于热氧化制备二氧化硅的方法是（）
A.化学汽相沉淀法B.原子层沉淀法C.水汽氧化D.氢氧合成氧化
多项选择题 关于热氧化速率，说法正确的是（）
多项选择题 热氧化前硅片厚100微米，氧化后二氧化硅的厚度为100微米，此时下列正确的是（）
多项选择题 以下哪些工艺会消耗硅片自身的硅（）
