多项选择题
关于热氧化速率，说法正确的是（）
A.温度越高，速度越快B.压力越大，速率越快C.水汽氧化最慢，干氧氧化最快D.掺杂浓度越高，速率越快
多项选择题 热氧化前硅片厚100微米，氧化后二氧化硅的厚度为100微米，此时下列正确的是（）
多项选择题 以下哪些工艺会消耗硅片自身的硅（）
多项选择题 二氧化硅的作用有（）
