单项选择题
下列哪一项不属于Dry Etch工程中控制Process Chamber压力大小的部件（）
A.泵（Pump） B.压力计（Pressure Gauge） C.过压阀（Orifice） D.压力自动控制器（APC）
单项选择题 哪一项不属于控制Dry Etch工程的工艺条件（）
单项选择题 下列哪一项不属于Dry Etch设备的主要Unit（）
单项选择题 在Dry Etch工程中，Active Etch工艺不会被刻蚀到的Film是（）
