单项选择题
哪一项不属于控制Dry Etch工程的工艺条件（）
A.能量（Power） B.气体（Gas） C.压力（Pressure） D.磁场（Magnet）
单项选择题 下列哪一项不属于Dry Etch设备的主要Unit（）
单项选择题 在Dry Etch工程中，Active Etch工艺不会被刻蚀到的Film是（）
单项选择题 CVD中干泵进行Purge和Sealing的气体是（）
