多项选择题
扩散工艺主要测量哪些参数？（）
A.结深XjB.击穿电压VbC.扩散薄层电阻D.密度
多项选择题 扩散系数可以表示（）
多项选择题 刻蚀的主要参数有（）
多项选择题 以下刻蚀方法中，不属于各向同性的刻蚀是（）
