多项选择题
刻蚀的主要参数有（）
A.刻蚀速率B.刻蚀选择比C.刻蚀因子D.均匀性
多项选择题 以下刻蚀方法中，不属于各向同性的刻蚀是（）
多项选择题 先进的光刻技术有（）
多项选择题 光刻胶的主要性能指标有（）
