多项选择题
扩散系数可以表示（）
A.扩散的快慢B.扩散的原因C.扩散的难易程度D.扩散的方向
多项选择题 刻蚀的主要参数有（）
多项选择题 以下刻蚀方法中，不属于各向同性的刻蚀是（）
多项选择题 先进的光刻技术有（）
