填空题
制备SiO2的方法有（）、（）、（）、（）、（）等。
溅射法；真空蒸发法；阳极氧化法；热氧化法；热分解淀积法
填空题 在SiO2内和Si-SiO2界面存在有（）、（）、（）、（）等电荷。
填空题 硅平面工艺中高温氧化生成的非本征无定性二氧化硅对（）、（）、砷（As）、锑（Sb）等元素具有（）作用。
填空题 热氧化制备SiO2的方法可分为四种，包括（）、（）、（）、（）。
